二手 KLA / TENCOR P2 #9224719 待售

ID: 9224719
Surface profilers COHU Camera.
KLA/TENCOR P2是一种晶圆测试和计量系统,旨在为半导体行业提供最先进的计量和测试能力。该系统支持关键晶片制造工艺,包括模具附着、光刻、介电涂层、抗涂层/显影、模具粘结。它还支持高级过程控制、缺陷预防和屈服管理,利用高速光学、热和电气计量功能。KLA P-2由一套非接触式光学、X射线、声学和电气探针和模块组成,提供高分辨率成像能力以及对层厚、表面粗糙度、互连几何形状、晶体管特性和模具连接经波等参数的详细测量。X射线CCD启用缺陷检测,而光学探针测量线宽、接触孔和触点。声学和热学探针测量微块的形态和位置.电气模块允许使用各种电气测试和分析技术对设备进行表征和设备优化。TENCOR P2是为处理设备制造的所有主要阶段而构建的,包括缺陷检测、计量、过程保证和过程控制。它的高分辨率和准确性允许精确控制特征大小和形状,从而确保设备符合等级规格。它具有高速成像和数据分析功能,能够实时监控和评估设备制造步骤,支持流程优化,并允许更快地提升新流程和设备。高级优化和数据管理工具能够高效生成数据驱动的决策。KLA P2还包括自动化的全现场流程控制和自适应流程控制(APC)功能,允许用户实时操作流程。用户可以快速响应关键流程指标和非关键产量数据,以提高产品产量。总体而言,KLA P2是半导体行业强大可靠的工具。TENCOR P2凭借其高分辨率的光学、X射线、声学和电气探针,结合先进的优化和数据管理功能,提供了当今高容量、高精度应用所需的高级过程控制、缺陷预防和屈服管理。
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