二手 KLA / TENCOR P2 #9252431 待售

KLA/TENCOR P2是一种精密的晶片测试和计量设备,能够对晶片的物理特性进行表征和可视化。该系统能够测量光场图像和暗场图像，提供晶圆地形在广泛放大范围内的详细视图。它还具有分析原子力和临界维度以及颗粒缺陷水平的能力。KLA P-2还包括一个组合显微镜/扫描电子显微镜（SEM）腔室，用于超高分辨率和高灵敏度的检查。该单元包括两个主要的计量过程，光子扫描隧道显微镜（PSTM）和自动形状缺陷检测（ASDD）。PSTM使用基板表面的隧道电流和浸入式光学器件发出的激光束的组合,能够对表面拓扑进行最精确的分析。这也为显微镜提供了最精确成像的最高分辨率缺陷。另一方面，ASDD过程允许高速自动检测黑暗和明亮区域的缺陷。它能够检测大小特征的形状和韧带缺陷。TENCOR P2在暗场模式下无与伦比的照明均匀性抑制了背景信号泄漏到晶圆上，确保了最高的检测通量和尽可能高的图像对比度。它还具有4 x到128 x的映射功能以及MTF测量功能,以实现晶圆的最精确的表征。此外，KLA/TENCOR P2作为一种现代晶片测试和计量机器，具有在不影响器件电气特性的情况下进行厚度测量的能力。此外，该工具还包括人体工程学用户界面（EUI）。EUI允许更轻松和自动化的数据转换和分析,以及简化的设备操作和控制。此外，TENCOR P-2还有许多集成工具，旨在帮助对晶圆及其部件进行高效分析。其中最重要的是自动对焦、晶片缝合、粒子识别以及缺陷分类算法。TENCOR P2是半导体工业中的一种高级级晶圆测试和计量系统。它结合了卓越的测量和检测功能、自动化的数据转换和分析,以及一系列功能强大的控制工具,使用户能够以最高的精度和准确性查看、检查和分析其晶片。