二手 KLA / TENCOR P2 #9284967 待售
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KLA/TENCOR P2晶片测试和计量设备是一种通用、综合的计量解决方桉,用于自动相对放置、模对数据库对准、图像检查、精确计量以及特征、尺寸、形状和方向分析。该系统设计用于半导体、平板显示器和微机电系统(MEMS)行业的生产和研究环境。KLA P-2由若干组成部分组成,这些组成部分共同努力实现可靠和准确的测试和计量。它具有区域阵列摄像头和多轴运动控制器,两者都执行高精度对准和特征识别操作。相机主动捕捉晶片的整个表面,并将图像转换为数字信息。然后将此数据传输到运动控制器,从而允许将晶片自动相对放置到布局模式。运动控制器还将晶片布局与存储的数据库对齐,并用于检测缺陷,如划伤的曲面和不匹配的特征。此外,TENCOR P2与光学计量单元集成,用于测量晶圆特征的大小、形状和方向。这台机器使用激光阵列提供各种材料的精确测量,包括薄膜、电阻器、晶体管和物理结构。该工具是可配置的,可定制用于测量不同类型的形状,如圆柱或锥形曲面。此外,它还可用于测量不同的厚度,如基板或折射率,甚至可以测量晶圆上可能存在的异物。KLA/TENCOR P-2资产还具有模对数据库对齐模型,用于分析和检测晶圆在生产过程中的缺陷。该设备支持晶片的正面和背面检查,并允许自动放置全晶片模具。TENCOR P2还提供高级图像处理功能,如缺陷检测、降噪和颜色校正。KLA/TENCOR P2是一种全面的晶圆测试和计量解决方桉,能够对晶圆特性进行精确、准确和自动化的测试和测量。它专为提高生产效率和精度而设计,适用于广泛的行业,包括半导体、平板显示器和MEMS。
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