二手 KLA / TENCOR P2 #9291906 待售

KLA/TENCOR P2是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆边缘和中心测量。为用户提供用于计量信息处理的自动化解决方桉,如晶圆表面检查、晶圆缺陷分析、晶圆形状测量和晶圆材料验证。该系统采用先进的基于激光的晶片边缘检测装置,采用先进的晶片计量技术,对晶片边缘位置进行精确监控,检测形状或几何形状的偏差,量化晶片边缘特性的变化。还集成了先进的光源计量技术，对晶圆表面地形进行检测和测量。作为机器的一部分，红外激光和成像照相机用于识别表面材料成分的变化，并检测诸如划痕和表面缺陷等缺陷。从该工具获得的其他计量信息包括金属线和3D轮廓过程控制数据、晶圆清洁度信息、晶圆平整度测量、表面特性映射和表面粗糙度检查。这使用户能够获得晶圆制造工艺的全面数据集，包括其屈服性能。资产除了检测表面缺陷外，还集成了一系列其他算法，在三个维度上测量晶圆形状。这允许用户精确量化晶圆形状和尺寸的差异，并从测得的晶圆生成度量数据，如平坦度、晶圆边缘变形以及横截面面积。该模型还得益于用于实时测量可视化的集成图形用户界面。这使用户能够快速查看当前测试数据以及查看过去的数据,并充分了解设备性能。该系统还兼容各种数据输出格式，方便不同机器之间的数据共享和协作。总之，KLA P-2是一个先进的晶片测试和计量装置，为用户提供了一个用户友好、自动化的解决方桉，用于准确监测晶片表面和形状以及推导过程控制数据。它提供了对晶圆制造工艺现状的宝贵视图,帮助用户减少缺陷并确保质量控制。