二手 KLA / TENCOR P2 #9402153 待售
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KLA/TENCOR P2是一种自动化晶圆测试和计量设备,用于检查半导体器件和电路。它为串联样本监控、分类、故障分析和缺陷隔离提供了一系列集成功能。该系统利用各种光学、电气和光热技术来检查和表征晶片。它由晶圆分析仪和晶圆级计量子系统两个主要组成部分组成。Wafer Analyzer按顺序扫描每个区域并收集用于识别缺陷的电气数据,而WLM子系统集成了用于表征、测量和验证每个设备的结构特性和电气性能的光学和电气信息。对于电气测试和表征,该单元使用光谱成像技术,以高精度和分辨率测量电阻、电容和其他器件参数。电气表征功能为设备提供了强大的故障隔离和故障分析功能。WLM子系统将光学和电气测试信息集成在一个平台中。这使机器能够在一次扫描中测量晶片的多个方面,并提高设备特性的准确性。在故障分析和缺陷隔离方面,该工具采用了亮场、暗场和光谱成像等多种成像技术。该资产还配备了压力测试能力,以模拟现实世界的状况,并在不同条件下准确识别故障设备。KLA P-2设计用于在半导体生产环境中快速、准确地监测和表征晶片。它为需要高保真设备表征、故障隔离和故障分析的制造商提供了高质量和经济高效的解决方桉。它可以加快生产过程中的周转时间,提高产量。
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