二手 KLA / TENCOR P22H #9214889 待售

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ID: 9214889
晶圆大小: 8"
Automated surface profilometer, 8" Open cassette Handler with wafer pre-aligner Computer Operating system: Windows 3.11 / Windows NT.
KLA/TENCOR P22H系统是用于晶圆测试和计量的强大工具。它是用于半导体行业的KLA系列自动晶圆检测设备的成员。KLA P 22 H能够检查和测量尺寸从8英寸到200毫米不等的晶片。该单位设有6个处理站,提供包括光学、机械、电气等方面的检验和计量能力相结合。TENCOR P-22H的设计专注于提供高通量和精确测量,并在一系列产品上提供先进的特征识别和分类。其光学元件包含两个大光圈全视场(FFV)CCD相机,以及多个LED光源和专用光学元件。P-22H提供高分辨率亮场(BF)、暗场(DF)、多区亮场(MZBF)和线扫描等成像能力。这样可以检查较小的高长宽比特性,这对许多应用程序都是一个很大的好处。此外,线路扫描模式允许对光学可编程相移光栅、低压材料和新兴材料进行无损检测。该仪器还配备了革命性的自适应扫描体系结构(ASA),一种通用的模式识别系统。这使得它能够精确地检查晶圆模式,即使存在由过程均匀性引起的长宽比差异。KLA P-22H还提供令人印象深刻的0.2nm测量分辨率和内置聚焦算法,进一步帮助确保数据的高精度。这可帮助客户自信地测量高度精确的组件,而无需手动调整。提高的吞吐量和可重复性性能是由大型电动机确保的,该电动机以速度和精度将晶片从一个工作站移动到另一个工作站。归根结底,P22 H是专门设计的晶圆测试和计量系统。KLA/TENCOR P22 H凭借其先进的成像和测量功能以及自适应扫描体系结构,提供了令人印象深刻的性能,满足了半导体行业的严格需求。
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