二手 KLA / TENCOR P2H #9093855 待售
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ID: 9093855
Long scan profiler, 254 x 254 mm
Measures: Roughness, Waviness, Topography (TIR, Height, Average height)
Scan length: 210 mm
Scan speed: 1 um/sec to 25 mm/s
Scan method: moving stage, stationary stylus
Stylus control:
Programmable force: 1-100 mg ± 0.1 mg
Full retract between scans
Programmable descent rate
Measurement control:
Manual / Single scan mode
Keylock with (3) modes
Repeat and average mode
Automatic sequence mode
Sample handling:
Motorized XY
Max sample size: 254 x 253 mm
Sampling rate: 50, 100, 200/s nominal
Vertical range: ±6.5 um at 1A resolution, ±150 um at 25A resolution
Vertical linearity, entire range: ±0.5%
Horizontal resolution: 0.01 um at 1 um/sec scan speed
Step height repeatability:
13 um range: 0.001 um (10A) max standard deviation
300 um range: 0.005 um (50A) max standard deviation
Base line stability:
Time: 0.02 um (200A) max TIR for a 100-s scan
Distance: 0.2 um (2000A) max TIR on a profile length of 130 um verified on a 1/20 optical flat
Data storage:
HD: 40 MB
Diskette: 1.4 MB on 3.5" Disk
DOS operating system
Tencor P-2 Program
Recipes
Data Analysis:
Interactive graph
Delta Average mode
Zoom box data expansion
Data catalog
Database manager option
Metric or English units.
KLA/TENCOR P2H是一种先进的、完全集成的晶圆测试和计量设备,旨在超越业界最严格的行业规范和要求。它能够容纳直径达200毫米的晶圆尺寸,而其先进的自动化软件和独立的子系统使其成为生产多种设备技术的实验室和工厂的理想解决方桉。该系统由四个组件驱动-数据采集单元（DAS）、检查机（IS）、计量工具和总计量资产（TMS）。DAS是一个自动化的数据收集模型,它捕获性能参数化以及半导体器件和与设备其他组件接口的测试输出。IS是一个功能强大的自动检查系统,可提供快速、符合规范的图像分析和被测设备的特性。它还提供各种图像评估,如检测、分类、测量、模式识别和着色。计量单元是设备尺寸测量、电气参数、缺陷表征和故障分析的综合计量解决方桉。它提供了高级分析功能,可以准确测量各种参数和材料属性。TMS允许对各子系统收集的数据进行全面管理,并使用户能够快速评估晶圆质量和整体设备特性。KLA P-2H采用最新的晶圆测试技术,集成了硬件、软件和系统,旨在最大程度地提高准确性和可重复性,并确保最大限度的生产效率。所有系统都采用优化格式,提高了数据采集和分析的速度和准确性,同时缩短了整个周期的时间。它还配备了质量缺陷检测的尖端方法、优化效果的自动调谐技术以及统计质量控制过程，以确保可信的结果。此外，TENCOR P2H机器设计为用户友好，具有直观的图形用户界面，对各子系统和组件的完全控制，以及实时监控设施以显示性能进度。还建立了安全控制和数据保护协议,以便安全运行。TENCOR P2H是一种适合原型和大批量生产晶圆测试环境的工具，提供最大性能、重复性和可靠性。凭借其全面的计量和图像分析能力、易于使用的设计以及显着缩短制造时间的能力，它是任何现代半导体实验室或晶圆厂的理想工具。
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