二手 KLA / TENCOR P2H #9241190 待售

KLA / TENCOR P2H
ID: 9241190
晶圆大小: 8"
优质的: 1992
Long scan profiler, 8" 1992 vintage.
KLA/TENCOR P2H是一种前沿晶片测试和计量设备,设计用于各种硅集成电路(IC)晶片的自动、无损缺陷检测和厚度分析。这个先进的晶圆测试和计量系统利用了硬件和软件的最新技术。KLA P-2H可以高精度地自动检查和分析晶片表面缺陷,包括由污染物、尘埃等微粒和基于加工的图样引起的缺陷。其内置的3D光学检测技术能够快速准确地检测和映射晶圆表面的缺陷图样,分辨率小于6微米。该单元还使用高分辨率光谱成像和荧光测量来识别和测量晶圆表面的污染。除了缺陷检测,TENCOR P2H能够测量晶圆厚度等地形特征,如通道深度、图样间距、峰值高度等。它包括一项名为AVI(纵向集成成就)的专利技术,它有助于快速准确地分析晶圆值。AVI工具包可以识别一系列晶圆模式,即最多25微米,以实现近乎即时的精确读数。KLA P2H利用所有这些功能进行超高速晶片表面测试和计量,占地面积非常小,不到1平方米。KLA P2H还具有强大的基于Linux的软件体系结构。它具有复杂的用户界面,便于操作,并提供测试数据的完整捕获和分析。这个复杂的基于软件的平台允许自动生成具有完全可追踪性和归档功能的报告。这意味着可以导出计算机生成的所有分析数据的记录审核跟踪,以便进一步查看和跟踪。KLA/TENCOR P2H是先进的IC制造工艺的晶圆测试和计量的前沿解决方桉。它为晶片提供高精度、无损检测和均匀性分析,具有非常小的占地面积和先进的基于软件的数据归档和可追踪性控制平台。KLA/TENCOR P2H的主要目的是提高晶圆产量,是现代IC制造商必不可少的工具。
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