二手 KLA / TENCOR PHX DF 5.0 #293660076 待售

KLA PHX DF 5.0是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供半导体制造中的高保真结果。该系统旨在提供市场上一些最高级别的分辨率和准确性。TENCOR PHX DF 5.0利用多相机成像架构。这个复合成像单元结合了高速摄像机和敏感的CCD芯片，让整个晶片拥有完整的成像视野。高速摄像机在整个晶片上实现高帧速率，用于精确和详细的检查和计量。此外,KLA/TENCOR PHX DF 5.0还具有先进的照明和照明系统,可提供清晰对比的图像。此精度非常适合进行高级临界尺寸（CD）测量和缺陷表征。该机器还配备了先进的自动化工具，以实现高效操作。这项资产包括最新的复杂模式识别和图像处理算法,可实现高分辨率的自动晶圆检查。自动化模型结合快速成像,提供卓越的缺陷检测功能。该设备可以检测到使用常规检测方法难以检测到的极小缺陷。此外，该系统还具有集成的流程控制系统，允许在需要时进行流程优化和快速纠正。KLA PHX DF 5.0还配备了先进的表征算法，允许对缺陷进行准确、详细的分类。这个单元允许灵活的参数设置，允许透彻的表征和分析甚至最复杂的晶片。它还具有集成的计量功能,允许精确的3D地形测量。此外，该机器还有一个现场分析模块，可以实时表征晶圆缺陷。总体而言,TENCOR PHX DF 5.0是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量工具,可提供准确且高保真的结果。凭借其先进的成像、自动化和计量功能,资产能够进行快速、可靠和高分辨率的晶圆检查,从而实现最大程度的过程控制和优化。