二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #163303 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一个用于自动晶圆测试和计量的高精度平台。KLA 6200 Surfscan设备实现了地形、薄膜厚度以及半导体晶片和基板缺陷的自动实时测量。TENCOR 6200 Surfscan系统配备了先进的CCD传感器，可以捕获半导体晶圆的精确3 D地形图像。它可以测量样品地形，用于精确的薄膜厚度测量和缺陷表征。设备对扫描头的精确控制和软件算法确保精确可靠的测量。PROMETRIX 6200 Surfscan机器能够测量各种晶圆结构和层，包括金属通孔、大间距间距互连，以及其他最大扫描场最大为13mm的复杂结构。该工具还能够测量最大测量范围为50nm-10mm的薄膜的波长相关特性。此外,6200 Surfscan资产还具有自动缺陷分析库,可以检测复杂的缺陷,如错位、堆迭故障和线程循环。软件可以快速识别和分类缺陷，使用户能够快速分析晶片的缺陷结构。此外，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan模型被设计为进行在线实时晶片表征，意味着晶片结构的细微变化可以被快速检测和分类。它还具有与高分辨率级集成的平衡现场照明设备，以确保每次扫描的精度和准确性。最后，以3nm/sec的扫描速度，KLA 6200 Surfscan系统为自动晶圆测试和计量提供了高吞吐量。它有一系列自动化选项，可以减少晶圆表征所涉及的时间和复杂性，使其成为需要高度精确测量的半导体工艺的理想选择。