二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293602390 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种先进的自动化表面计量设备,旨在测量半导体行业中使用的晶片的表面质量。它通过多渠道、多轴成像能力提供全面的晶圆测试和计量能力。KLA 6200 Surfscan系统用于测量表面粗糙度、轮廓和轮廓特性以及晶圆表面质量的其他关键方面。6200配备了模式识别单元，使用户能够从晶圆表面的图像创建自己的测量。该机器可以与传统的机械扫描技术或提供更高分辨率结果的先进干涉技术结合使用。TENCOR 6200 Surfscan针对高吞吐量和高效使用进行了优化。它包括三个主要组成部分：高分辨率数码相机、用于样品扫描的精密x-y级和高分辨率成像工具。该相机用于捕获晶圆表面的视频图像并生成其特征的图像映射。精密级用于扫描晶片，方法是沿两个轴相对于照相机移动晶片。然后,高分辨率成像资产从扫描曲面的每个点捕获数据以创建2D图像。该模型能够测量低至亚纳米精度的表面特征。该设备可产生非常准确和可重复的结果,而操作员的参与却很少。它与广泛的基板兼容，如单晶、多晶和外延硅，并且可以测量具有弯曲、平坦或阶梯状形状的表面。6200 Surfscan易于使用,可通过Windows PC界面操作。图形用户界面使用户能够定义自己的测量参数，实时显示结果，并生成工程分析的详细报告。并且其自动化晶片测试和计量能力确保晶片能够得到质量和准确性的验证。总体而言,PROMETRIX 6200 Surfscan是评估半导体晶片表面质量的理想工具。该系统结合了高分辨率成像、自动扫描和实时报告功能,是半导体过程控制和质量保证的理想解决方桉。