二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293621540 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,提供全面的测试能力和高精度。该系统旨在为用户提供用于优化产品性能和最小化产量损失的重要数据。KLA 6200 Surfscan设备具有卓越的性能,拥有获得专利的共对准、双激光机器和卓越的光学器件,可提供优越的晶片对准、轴向和径向测量,在各种模具尺寸、螺距大小和方向上精确到5微米以内。该工具还能够每秒执行400多次全场测量。该资产通过EikonixPegasus计量控制软件提供了可靠的过程控制,该软件允许用户设置特定参数并执行全面的现场、线性、一维和轮廓测量。该软件还为高级工艺能力和产量分析提供了强大的分析工具。TENCOR 6200 Surfscan模型提供了一套晶圆探测功能，以满足最具挑战性的过程和应用的需求。其矢量探测和模具识别能力可以改进缺陷检测、提高产量分析和加速数据分析。该设备还提供业界领先的测量吞吐量,最大（100毫米）灵敏度高达每秒2000个场,没有额外的对准时间,同时提供全套OPC测量,包括高压和低压、HSOT和电子束。该设备还提供3D临界尺寸（3DCMAD）测量，这项技术能够测量金属薄膜和成像低于衍射极限的特征。6200 Surfscan的最大测量速度为每秒1场,符合ISO和SEMI标准。总而言之,PROMETRIX 6200 Surfscan系统是最新的晶圆测试和计量设备,可为用户提供可靠的过程控制和快速、准确的测量。其先进的技术和广泛的探测能力使其非常适合广泛的半导体测试应用。