二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293622692 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备,设计用于2D和3D晶圆检测和计量。这种通用系统可用于晶圆涂层、蚀刻和CMP等多种半导体工艺步骤。该单元由一组探针和照相机构成,以不同放大倍数提供晶圆表面的详细图像。KLA 6200 Surfscan的主要功能包括自动图像分析、统计过程控制(SPC)功能以及板载测量软件,这些软件可快速有效地评估晶圆的状况。机器还可以扫描和测量最大300毫米大小的大型晶片。这种健壮的工具还可以解决各种缺陷层,图像处理技术提供出色的线/空间测量、缺陷映射和迭加控制。该资产提供晶圆级测试、过程控制和数据分析,以及满足客户要求的高度可配置性。强大的柔性图像检测(FID)软件提供复杂的自动测量和晶圆缺陷分类。FID使Surfscan 6200能够识别、测量和分类缺陷,这可以大大减少加工时间,提高产量。该模型能够手动和自动操作,并具有很高的准确性、可靠性和可重复性。TENCOR 6200 Surfscan是一款用途广泛、功能强大的晶圆检测、计量和过程监控工具。其自动化的测量和分析功能使其成为许多半导体制造业务的绝佳选择。在质量保证和生产优化方面,这种设备是一种宝贵的资产。
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