二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9045526 待售

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ID: 9045526
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Wafer inspection system, 8" With Ar-laser 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种先进且高度可靠的设备,设计用于晶圆和基板的计量和测试。它具有多种技术,有助于确保晶圆测试和计量应用的准确性、效率和灵活性。该系统配备了六轴机器人,能够处理直径达200毫米的晶片。机器人能够调整旋转中心,将晶片定向到5°以内,调整倾斜角度,从而对晶片进行非常精确一致的操作。这样可以提高晶圆测试和计量过程的准确性。该单元还配备了几个传感器,包括数字对准机,以帮助确保工具的准确性和可重复性。此资产可避免测量过程中出现任何错误或不准确的可能性。该模型还配备了高分辨率扫描仪和照明设备,能够对小型或非常详细的特征进行成像,例如可能难以测量的颠簸或线条。该成像还允许从不同角度捕获多个图像,这有助于测量所检查样品的深度和大小。此外,该系统包括一套软件,能够控制各种晶圆测试和计量功能,包括测量、分析和验证数据的过程。软件套件还允许对单元进行定制,以满足独特晶圆测试和计量应用的特定需求。这样可以提高机器的准确性和可重复性。此外,该工具还采用了多种热技术,可以在资产内进行热控制和稳定。这有助于将晶片保持在一致的温度范围内,这有助于确保过程中的准确结果。KLA 6200 Surfscan是一个高度可靠和准确的模型,旨在为用户在晶圆测试和计量应用中使用设备时提供极高的准确性和可重复性。它的功能为用户提供了一种舒适的体验,让他们知道他们的结果将是准确、精确和一致的。
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