二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种高性能晶圆测试和计量系统，旨在满足半导体行业的苛刻要求。Surfscan 6200可以精确测量晶片的所有临界参数，包括表面平面度、临界尺寸、迭加配准和特征大小。该系统的核心是屡获殊荣的专有Opticsair TM传感器,与市场上其他同类系统相比,它提供了卓越的灵敏度和快速的动态范围。它采用独特的空心杆光学设计，通过显着降低地面噪声，减少振动，提高采样精度。Opticsair TM传感器可以测量任何形式的表面缺陷,并能够表征特征大小和形状。6200具有多种性能增强选项,包括具有高级映射和串行阵列功能的成像和测量处理器（IMP）,用于精确CD测量的最先进的Accu-Centric测量头,以及具有全串行位置控制功能的自动晶圆跟踪模块。6200还为用户提供了最多可集成四个独立晶圆级的能力，从而在测量各种晶圆尺寸时允许高度的灵活性。Surfscan 6200还可以链接到其他设备,如SPC系统和自动处理程序,用于系统故障识别、分析和维修。除了标准晶圆测试功能外，6200还提供了针对过程控制的高级性能定位、用于改进性能监控的自动化处理控制（APC）模块，并且可以与计量和分析工具集成。综上所述,KLA 6200 Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量系统,可提供无与伦比的速度、准确性和灵活性。它是寻求缩短上市时间、提高工艺一致性和降低晶圆成本的半导体制造商的理想选择。