二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备，用于分析半导体器件。KLA 6200 Surfscan设计用于测量复杂的纳米级结构上的各种参数,如表面光洁度、厚度、平坦度和掺杂浓度。该系统能够执行多维计量，如地形、剖面和倾斜测量。TENCOR 6200 Surfscan配备了全自动、高分辨率的XY扫描仪。即使在拐角立方体和具有极端地形特征的测试结构失真的情况下，这也能提供精确和准确的测量。扫描宽度和速度是可调整的,以便执行从全场测量到局部扫描的任何测量任务。样品可以直接放在扫描仪台上进行简单设置，也可以安装在卡盘上进行更复杂的测量。该装置可容纳200毫米以下的基板。这台机器还配备了2轴倾斜和旋转级，在调整样品取向的同时精确测量纳米范围内的角度和倾斜值。具有用户可定义分辨率的CCD图像传感器允许对晶圆表面上的结构进行高对比度成像，可用于确定激活阈值、几何形状和其他参数。6200 Surfscan还提供高级分析功能。利用其高分辨率成像和计量测量，该工具可用于检测过程转移、测量可重复性、识别缺陷和分析统一产量。PROMETRIX 6200 Surfscan基于Windows,可集成到生产、测试和软件环境中,以提高吞吐量和可靠性。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan晶片测试和计量资产为高级生产环境提供高质量的自动化晶片测量。它具有高精度扫描和成像功能以及先进的分析功能,可用于精确测量和改进产量控制。此模型的灵活性和精确度允许快速准确地反馈过程参数,并通过自动化传统的手动任务。