二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078061 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan设备是晶圆测试和计量系统,针对各种设备和过程监控应用进行了优化。它结合了光学散射法、椭圆偏振法、化学机械平面化（CMP）和计量性能评价等多种技术，实现了优越的晶圆表面表征以及广泛的工艺和产量相关测量。KLA 6200 Surfscan采用先进的高分辨率光学散射测量单元来检测和表征亚微米表面地形。这台机器能够测量分辨率低至0.3微米的特性，提供准确和可重复的结果。此外,TENCOR 6200 Surfscan还提供了一个动态平台,用于各种椭圆偏振配置和技术,以及为精确测量复杂晶圆几何形状而优化的高级相位调制方法。该工具还具有多种强大的计量能力，如三维地形重建（ET），以获得对晶圆整体形状的洞察。它还具有直观的软件用户界面,允许精确的测试设置配置,包括重复（串联）和全面（批处）测量。6200 Surfscan还提供了完整的CMP测量范围，如静态表面形态分析（SSMA）、划痕映射、巨粒子检测和粘附测量。这些测量使资产能够检测弱点和缺陷,并量化主轴增长以改进过程控制。此外,该模型还可用于处理后缺陷检查和性能测试（如探测电压和电流）,以确保设备正常工作。PROMETRIX 6200 Surfscan具备这些强大的功能,是研究和生产实验室的理想工具,可提供快速、可靠且有见地的晶圆测试和计量。它使用户能够检测到其他技术无法检测到的微小表面特征,从而能够有效监控晶圆过程并提高总体产量和制造效率。