二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9152152 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供高速、高精度晶圆测试和计量。KLA 6200 Surfscan是一款配备了许多先进功能的尖端系统，如电容式磁头、三轴级以及先进的100 mm工业晶片处理器。该单元能够测试各种尺寸的晶片，包括200、300和400毫米。该机采用高精度、三轴级刀具设计，行程范围高达150毫米，分辨率小于0.2mm，允许精确对准和绝对定位。它还为精确探测和精确数据采集提供了广泛的动态范围。资产还配备了先进的电容式磁头，可提供更高的灵敏度和更高的动态范围，从而实现更高的精度测量。它能够在5纳米到15微米的范围内进行测量，分辨率高达0.01纳米。TENCOR 6200 Surfscan有一个先进的100 mm工业晶片处理程序，可以对晶片进行边缘检测和精确检查。载荷锁定深度可达200 mm，晶圆采集和传输精度± 3.0 μ m。它还能够提供多个晶片的粗糙和精细对齐,最大可达200毫米。该模型有一个自动校准设备，可以根据不同的测量值进行调整，并允许调整诸如聚焦、曝光、增益和偏移等参数。该系统还配备了用户友好的图形用户界面，允许对参数和设置进行控制和监控。此外,PROMETRIX 6200 Surfscan还提供了多种数据分析选项,使用户能够以多种方式分析数据,包括峰值分析、独立库、配方比较等。这使用户能够快速检测和诊断其晶片中的故障。总体而言,6200 Surfscan是一款前沿设备,旨在提供高速、高精度的晶圆测试和计量。除了其精确度和准确性外，它还提供了一系列功能，使用户能够快速诊断其晶片的问题。