二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在测量和分析被测设备中的表面特征,如微观突起（或阶段）和凹坑（DUT）。该系统的采样率高达10 kHz，光束光斑大小为10 µm，分辨率高达1 µm。该单元由三个主要组件组成：容纳光学、电子和机械的扫描头；测量引擎；以及分析用户界面。扫描头负责收集和生成计量数据，并配有激光二极管扫描DUT晶片。激光发出的光被聚焦，然后反射回扫描头，产生DUT表面地形的图像。此图像随后由测量引擎处理，该引擎获取图像数据并执行过滤和优化算法。然后将数据上载到分析用户界面,该界面用于查看扫描配置文件和处理后的数据。可以从扫描轮廓中提取诸如步高、凹坑大小、曲面粗糙度和代表性不足的特征等参数。此外，该机配备了"SmartScan"技术，该技术基于曲面分析和代码驱动优化算法的集成。此技术增强了工具优化产量的能力,并减少了对昂贵的参数化测量的需求。还提供了图形用户界面（GUI）以帮助操作资产以及查看和分析数据。总之，KLA 6200 Surfscan是一种可靠高效的晶圆测试和计量模型，以高速方式提供高精度结果。其"SmartScan"技术、图形用户界面、扫描速率等特点使其成为确定基板微观特征和缺陷的宝贵工具。