二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9203832 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,专门为确保先进的测量质量和一致性而设计。该系统具有监测和分析低k和高k电介质的能力,能够适应样品大小的变化。它专为串联过程控制而设计,具有板载切割功能以及关键层的集成分析。KLA 6200 Surfscan由多个组件组成,包括晶片级、晶片卡盘、真空卡盘和视觉单元。晶片级和晶片卡盘提供了精确测量和分析晶片表面所需的受控表面运动。真空卡盘可实现高度的样品密封,确保在测量过程中不会发生交叉污染。视觉机配备了高分辨率的灯光和照相机,能够准确识别样品表面的特征和缺陷。TENCOR 6200 Surfscan具有高吞吐量和可重复性,提供卓越的速度和性能,使用户能够在尽可能短的时间内实现最大限度的生产和分析晶片。高度复杂的工具提供平滑度和粗糙度的水平扫描测量,使用户能够查看研磨和清洁过程的局部和全局效果。6200 Surfscan还具有全套自动化测试功能,可实现过程自动化并消除潜在的人为错误。此外,PROMETRIX 6200 Surfscan在测量各种尺寸的样品和各种材料方面提供了先进的灵活性。该资产还配备了易于使用的触摸屏界面,可方便地访问各种配置和设置。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan还支持3D和Advanced Application编程,以方便用户。总体而言,KLA 6200 Surfscan是为过程控制和自动化而设计的高级晶圆测试和计量模型。该设备可靠、可重复、灵活,提供出色的吞吐量,使用户能够最大限度地提高产量并消除潜在的错误。
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