二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9216650 待售

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ID: 9216650
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1994
Particle counter, 4"-8" Non-patterned surface inspection system OS: Windows Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 Micron Haze sensitivity: 0.02 ppm Haze resolution: 0.002 ppm Accuracy: 1% XY Co-ordinates Lock down accessories KLA / TENCOR Blower assembly Manuals included Power requirements: 208 V, 60 Hz, 17 A 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种最先进的晶圆测试和计量设备,旨在对各种基板上的复杂表面和结构进行高精度测量。该系统集成了专利计量体系结构、先进的自动化软件和专门的光学,提供了前所未有的测量晶圆结构的能力。KLA 6200 Surfscan配备了集成式MultiGene™光学单元,可同时高速精确扫描整个晶片,适合高通量应用。机器包括可见光和红外线感光系统,因此可以精确测量不透明、透明和非反射表面。TENCOR 6200 Surfscan利用获得专利的Encore™工作流自动化软件提供完全自动化的基板加载、扫描和分析。用户友好的软件还支持脚本,允许用户开发自己的自定义测试和计量算法。软件还支持自动缺陷检测和传感,可用于使用任意、用户定义的标准检测和分类缺陷。PROMETRIX 6200 Surfscan还具有自动晶圆分选工具,可用于使用资产的集成分类算法分离干净且有缺陷的晶圆结构。6200 Surfscan将可用的最高分辨率成像与旨在确保计量分析精度和准确性的硬件和软件相结合。该型号配备了集成的10K像素分辨率传感器,能够测量低至1埃的表面粗糙度。此外,该设备是自动化的,速度极快,并支持各种样本量,使得它极其通用。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan除了其独特的功能外,还具有高度的可靠性和经济性。该系统设计为无维护,使其能够在最短的停机时间内始终如一地达到或超过性能规格。此外,该单位的价格具有竞争力,因此在工业和研究应用方面具有成本效益。总体而言,KLA 6200 Surfscan机器是一种用途广泛且经济高效的晶圆测试和计量解决方桉,适用于各种应用。TENCOR 6200 Surfscan具备全面的自动化功能、高精度分辨率、高效的工作流自动化以及具有竞争力的价格,是满足苛刻的工业和研究环境的理想工具。
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