二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9230009 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备,专为需要对半导体和光伏晶圆进行高通量表面分析的生产环境而设计。系统使用非接触椭圆偏振法测量样品的光学性质。它可以用复杂的扫描软件来确定半导体晶片的平坦度、反射率、应力剖面和表面粗糙度。该单元由三个组件组成：扫描头、测量室和计算节点。扫描头包含一个基于激光的传感器，可安装在测量室中，以提供快速、高效的样品测量。测量室是一个密封和温度控制的环境，可以配备最新的自动化技术，以允许更快的样品测量，同时消除手动交接。计算节点是一种用于存储结果、配置扫描和指导自动测量过程的计算机。该机配备了强大的分析软件，用于高级分析和报告生成。该工具具有自动双向缝合功能,可确保在整个扫描平面上进行完整的分析,从而实现大型晶圆级分析。KLA 6200 Surfscan资产提供多种测量技术，包括波长扫描椭圆偏振（WSE）、临界尺寸（CD）、波前误差（WFE）、表面表征和无损检测（NDT）。WSE根据波长测量样品的光学性质变化。CD用于测量样品上的特征,WFE用于跟踪表面平整度的变化。表面表征用于确定样品的物理特性,如孔隙度、晶粒大小和组成。最后，NDT用于检测缺陷，并用于测量样品的电性能。总体而言,TENCOR 6200 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量模型,它为需要高通量表面分析的生产和研究环境提供精确的测量能力。设备配备了先进的扫描软件、自动化的样品处理以及用于高级分析和报告生成的自动化分析软件。该系统提供一系列测量技术，并提供光学特性测量、表面表征和无损检测功能。