二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9234557 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
已售出
ID: 9234557
晶圆大小: 4"-8"
Automatic surface inspection system, 4"-8" Sub-micron sensitivity defects: 0.10 Micron particles Color codes defect maps, histograms & other graphics Instantaneous magnified 3-D views of individual defects Surface haze detection Laser type wavelength: Argon 488 30 mW Particle sensitivity: 0.10 um at 95% Measurement range: 0.09-9999 um Haze sensitivity resolution: 0.05 ppm Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation Throughput: 150 wph on 6" wafer.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种高性能晶圆测试和计量设备,旨在提供各种专业晶圆应用中的精确结果。利用激光共焦技术,KLA 6200 Surfscan对集成电路晶片的物理特性提供了极其精确的测量,特别是在厚度、粗糙度和纹理方面。TENCOR 6200 Surfscan系统配备了两台高分辨率彩色相机,让操作员可以监控正在测试的华夫饼,而该单元还可以检测和测量整个晶片表面的不均匀性。6200 Surfscan还能够高精度测量非IC晶片(如光学或微机电系统)的表面特性。PROMETRIX 6200 Surfscan机器具有双级自动化扫描头,可进行高通量样品准备,并确保在所有速度级别上进行精确测量。该工具旨在提供高达每小时800个样本的扫描速率,并且最大扫描速度为每秒20英寸。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan提供了多种高级功能,包括自动校准、延迟补偿、现场映射和集成调节,使其成为高度可靠的资产。KLA 6200 Surfscan的软件套件包括高级数据分析方法,包括区域和线剖析、峰/谷测量、晶粒幅度/方向分析以及自动缩放/自动绘图功能。此外,其软件还提供污染监测功能,提供晶圆表面污染物含量的实时反馈。TENCOR 6200 Surfscan还具有全面的诊断功能,能够快速高效地排除可能出现的任何型号错误。最后,该设备得到卓越的客户支持,提供指导和建议,以确保客户充分利用其系统。6200 Surfscan是一个功能强大且可靠的系统,在晶圆生产样品的检验中提供尽可能高的准确性。对于那些寻求全面和可靠的解决方桉来测量其关键应用程序的物理特性的人来说,它是一个理想的解决方桉。
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