二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9243759 待售

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ID: 9243759
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备,旨在为表面缺陷分析和临界尺寸测量提供高通量和可靠的应用。KLA 6200 Surfscan提供灵活的设计,可容纳多种晶片,包括多级互连、低k和超低k材料、ultrathin和3D设备。该系统采用先进的光学技术对表面污染物进行检查,并对过程控制应用进行关键尺寸和轮廓数据管理。它的先进透镜被设计成可以捕捉到小到微米大小的缺陷图像,以及提供均匀的测试晶片照明。其扫描技术包括宽视野、增强的聚焦深度和超高速扫描,允许快速准确的结果。该单元还采用了先进的模对数据库流程,确保保存收集到的数据并对其进行映射,以便进行分析和进一步分析。TENCOR 6200 Surfscan提供了卓越的数据精度,并提供了复杂的计量功能,如表面粗糙度测量、粗糙度功率谱、缺陷位置和特征、几何精度以及非接触表面轮廓测量。它还支持具有边缘可检测性的3D缺陷成像,使最终用户能够进行模内检查。它还包括先进的晶圆检查选项,如模模和全晶圆比较,允许用户优化计量过程。该计算机包括一个基于Web的用户界面,可轻松查看和管理所有流程数据,以实现简化控制。用户界面专为易于使用而设计,并提供模块化设计,允许用户根据自己的需要对其进行自定义。它还包括全面的数据导出功能,使用户能够方便地获取信息。总体而言,PROMETRIX 6200 Surfscan在晶圆测试和计量行业中提供了卓越、准确和可靠的结果。6200 Surfscan凭借其先进的光学和扫描技术、高吞吐量和数据准确性,为用户提供了极致的晶圆测试和计量解决方桉。
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