二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9248731 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9248731
Wafer surface contamination analysis system Missing parts.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是为大体积半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。它是一种全自动的高速晶圆扫描仪,每小时可处理多达100个6英寸晶圆。KLA 6200 Surfscan系统结合了先进的晶圆扫描、非接触缺陷检测、自动对焦和先进的2D/3D计量技术。扫描仪利用行业标准的工艺计量技术,从众多晶圆表面收集数据。2D/3D光学计量技术允许提取整个晶圆表面的详细地形测量,而非接触式检测单元可以准确检测和分类电气和物理缺陷。TENCOR 6200 Surfscan机器还提供数据采集、存储、分析和后处理应用。这允许快速可视化表面测量,以及报告各种类型的缺陷。此外,该工具还自动维护资产设置信息并提供可审查的标准操作程序。该模型具有全面、易于使用的操作员界面,能够快速高效地设置样本和获取数据。该设备还有一个内置的质量保证系统,它提供了可追踪性,并允许在收到数据时严格审查和分析数据。PROMETRIX 6200 Surfscan设备旨在帮助半导体制造商满足最苛刻的工艺控制要求。机器的灵活性和先进的功能使其成为将最高水平的晶圆质量和过程控制带入半导体行业的理想工具。
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