二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，提供高分辨率成像和半导体晶圆物理和几何特性的自动测量。该系统利用先进的光学和成像技术获得晶圆表面精确测量的地形图像。它既能测量纳米尺度特征，又能测量微观尺度特征，其广泛的测量能力在晶圆制造过程中被用来帮助查明影响产量的工艺和表面问题。KLA 6200 Surfscan单元具有自动化的示例加载和卸载功能,可进行多阶段校正以提高图像清晰度,以及易于使用的图形用户界面。它还提供了大面积的广域成像、可量化的测量、设备对设备的均匀性以及数据的可追踪性。TENCOR 6200 Surfscan设计用于小至100 nm螺距纳米结构的设备,并具有优化的光学测量引擎,可测量多达1000微米宽的磁场。其动态表面成像和测量提供了高度精确的结果，可供研究人员和工程师用来预测晶圆性能和确定工艺问题。该机器还具有计量学工作台,可实现快速、可重复和具有统计意义的测量。此计量工作台包括一系列用户可选择的测量功能,如临界尺寸（CD）测量、线缘粗糙度（LER）、局部边缘粗糙度（LER）、用于边缘扫描的360度照明和轮廓测量。PROMETRIX 6200 Surfscan工具还具有自动检查功能,可以快速识别过程问题和不一致之处。自动检查应用一系列算法来检测表面缺陷,如微孔、气泡和条纹。它还提供了一个高级缺陷查看套件,允许用户在现场可视化缺陷。6200 Surfscan资产是一种可靠且用途广泛的机械,提供了广泛的功能来改进晶圆测试和计量操作。其自动化晶片处理、高分辨率成像和全面的测量功能使晶片制造过程的监控得到改进,有助于提高产量和提高生产吞吐量。