二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9262110 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体制造商的需求。该系统提供了先进的功能和更高的吞吐量，以便进行高效的晶圆测试和分析。该单元由高分辨率Profiler成像机和轮廓扫描1250坐标测量站组成。剖面仪工具能够测量单面和双面晶片上的特征，分辨率高达0.25微米。轮廓扫描1250站能够测量到高达1微米的分辨率。该资产具有先进的表面特征识别和高速数据采集功能。与传统的晶圆检测技术相比，它能够更快、更精确地测量表面特征。该模型还利用多传感器和自动化数据分析提高了晶圆的吞吐量和检测速度。它还具有解释特征趋势的能力，以便确定制造过程中可能发生异常的位置。该设备采用Varian Well Connected等各种定制分析工具，用于同时分析同一晶圆上的闸门、活动区域和井边界。该系统还配备了晶圆映射功能，以跟踪过程引起的设备结构变化，以及自动缺陷检测。该设备支持手动和自动操作,以获得最大的灵活性。它有一个直观的用户界面，允许用户快速轻松地执行各种分析任务。此外,该机器还支持与其他过程控制系统集成,以确保连续运行。KLA 6200 Surfscan是需要精确晶圆测试和分析而又不影响速度或吞吐量的半导体制造商的理想工具。凭借其先进的功能识别、高速数据采集、过程监控和自动缺陷检测,该工具提供了经济高效的解决方桉,可提高产量并提高生产效率。