二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9272264 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是用于研究和生产环境的最先进的晶圆测试和计量设备。它能够快速准确地测量半导体材料的电阻率、介电常数、电容和泄漏参数等电性能。该系统旨在支持各种工艺节点和最新技术,包括铸造、晶圆厂和工程库。KLA 6200 Surfscan具有强大的高精度5百万像素CCD成像传感器,由于具有高分辨率图像处理算法,因此能够以5微米分辨率捕获晶圆特征的图像。大幅面9.1英寸视图的设计支持高研究和生产吞吐量。该单元不仅检测晶圆性能的缺陷和过程引起的变化，还有助于识别潜在的随机和系统的产品产量损失。TENCOR 6200 Surfscan配备了高级流程表征和数据处理功能,包括内置的流程配方和存储的测量数据数据库。该机的高级计量套件还包括一个3 D测量平台，具有散射测量、表面粗糙度和薄膜厚度等多种工艺表征工具，以及应力分析、边缘和轮廓提升等更先进的技术。PROMETRIX 6200 Surfscan支持从4"到12"的各种晶圆大小,具体取决于具体配置。可选功能包括自动晶片处理、吞吐量优化以及用于检测小缺陷的自动光学检查工具。资产还配备了一个直观的用户界面和一个全面的报告软件，用于监测流程指标和获取有关缺陷、变化和批次之间变化的数据。6200 Surfscan是研究和生产环境中高精度晶圆测试和计量的经济高效的解决方桉。凭借其先进的计量功能和直观的设计，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan提供了一种高效、准确的方法来获取最大限度的晶圆测试和计量。