二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9410475 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,可为各种技术提供精确的高分辨率测量。系统由一个晶圆测试头组成,连接到一个控制器工作站。测试头包含光学和电气头,其中装有样品测试所需的光学和电气组件。控制器站配有软件,允许用户自定义参数进行样本测试。KLA 6200 Surfscan专为研究和生产用途而设计,为成像、计量和缺陷检测提供精确的测量功能。该单元提供通用的光学、电气和机械元件,用于精确的晶圆测量。创新的光学和强大的照明系统提供高分辨率成像和精确的3D测量,即使在需要精确定位的应用中也是如此。此外,这台机器能够进行变速扫描,允许用户根据具体要求定制自己的测试周期。Surfscan 6200具有多种测试功能,包括自动缺陷审查、CD均匀性和平坦度测量、粒子和异物检验、光谱测量等等。该工具还提供自动化测试,可快速准确地评估各种过程参数和结果趋势。此外,该资产允许用户设置和存储本地和远程进程参数,使数据收集和分析更加高效。TENCOR 6200 Surfscan还附带了流程控制和规划功能,允许用户以更高效的方式计划、分析和控制其流程操作。该模型还提供了广泛的数据记录和分析报告功能,使工程师更容易诊断和研究其流程。总体而言,PROMETRIX 6200 Surfscan是一种精确且用途广泛的晶圆测试和计量设备,能够在广泛的应用中提供精确的测量。该系统专为研究和生产用途而设计,非常适合各种应用。该部门的自动化测试和报告功能使工程师能够更轻松地诊断和研究其流程,同时提供精确的测量和可靠的数据。
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