二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种多传感器设备，设计用于快速准确的在线晶圆测试和计量。它提供了光学、激光、传感器和定制软件的组合,以提供跨多种基板的高级表面分析、缺陷识别和尺寸计量。6420具有独特的光学配置,它基于经过精密修改的Miller三束扫描布局。这种扫描模式允许快速、高分辨率的可变聚焦成像,而不会影响性能。此外,该系统还可以测量非常精细的特征以及较大且形状不规则的特征。6420还有一个激光光学单元作为其计量包的一部分。这包括一个傅立叶变换剖面仪，允许极其精确的曲面映射。这在需要表面地形表征的应用中特别有用。6420配备了集成的运行到运行控制功能,使操作员能够实时监控示例状态并确保可重复性。此外,还有各种硬件和软件选项可用于定制性能、准确性和测试速度。最后,KLA提供的软件包包括一套自动化分析工具,例如缺陷识别（同时针对污染物和结构缺陷）、模式匹配、计量工具和相位对比成像。所有这些工具以及自定义编程选项都允许在各种晶圆测试和计量应用程序中实现最大的灵活性和易用性。总体而言,KLA 6420 Surfscan是一款功能强大、用途广泛的机器,可快速、准确、可靠地测试和测量各种基板。它结合了先进的光学、激光光学系统和强大的软件，是在线测试和计量要求的绝佳选择。