二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293625758 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于检测半导体晶圆上的表面缺陷。其获得专利的Micro Scan技术比其他现有缺陷检测系统提高了缺陷检测灵敏度和重复性。Surfscan设计用于快速检测高级光学、光刻和FEOL层上的真实微观缺陷。Surfscan 6420配备了与高保真相机相连的数字视觉系统，该相机由精确、可重复的电动晶片级驱动。Surfscan 6420能够以500 nm的分辨率一次测量最多两个晶圆直径。该单元包括线性和环形扫描检查能力，以提供100%覆盖整个晶圆。Surfscan 6420利用扫描电子显微镜（SEM）和广域缺陷回顾（BFDR）成像的真实四维组合来收集和分析样品图像。这使Surfscan 6420能够检测和量化各种缺陷类型,包括翻转模具或丢失模具,分辨率高达500 nm。Surfscan 6420为用户提供各种算法，简化缺陷诊断和分类的过程。这些算法使计算机能够根据用户定义的标准识别假定缺陷并将其分配给"分类器"。通过自动定心和对准功能可以实现高精度和可靠的缺陷定位。通过使用Surfscan 6420的一套用户可配置的摘要统计信息和趋势报告,可以简化缺陷图像分析。这些功能使用户能够快速识别和记录晶片上可能存在的各种缺陷类型。此外,该工具的软件附带标准缺陷分类术语库,以简化和简化缺陷报告。Surfscan 6420附带了一个提供自动质量控制、后期处理和缺陷鉴定的综合软件包。该软件还提供集成的GIS跟踪和全面的晶圆数据分析功能。此外,它的设计目的是以最低的培训和维护成本提供可靠、可重复的性能。总而言之，KLA 6420 Surfscan是一种先进的晶片测试和计量资产，旨在准确可靠地检测半导体晶片上的表面缺陷。Surfscan 6420具有高保真成像、可配置算法和全面的软件,是确保最高生产质量的理想解决方桉。