二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9057232 待售
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ID: 9057232
Non-patterned wafer particle measurement system, 4"-8"
Model #: 289108
Currently configured for 8"
Cassette interface:
(1) Open cassette
SMIF Ready
Operating system: Win98
Application SW verision: 4.2
Standard puck
Blower unit
Blower power cable
Main unit power cable
Particle sensitivity: 0.10 um
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Count accuracy: +/- 1%
No SMIF Load-port
208 V, 60 Hz, Single phase, 17 A
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种最先进的晶圆测试和计量设备,设计用于在半导体制造过程中对硅晶圆进行高级测试和分析。该系统提供卓越的精度、精度和吞吐量,是晶圆计量需求的理想选择。它配备了通用可靠的光学平台,并提供了先进的自动化晶圆映射、缺陷成像和缺陷审查功能。KLA 6420 Surfscan利用基于窗口的计量软件提供无与伦比的控制和处理能力。它使用户能够通过快速高效的数据处理和报告自定义测试和设计。该单元采用大规模计量模式,采用32点网格扫描阵列,在任何大小和厚度的基板垫上提供更好的采样覆盖。它包括一个获得专利的SmoothScan™平台,具有先进的光学减少和自适应速度控制功能,可减少非均匀的样品旋转,从而产生更精确的测量结果。TENCOR 6420 Surfscan还配备了特殊的防尘过滤器,可以消除灰尘颗粒,减少晶圆上的机械应力。它能够实现快速、准确的计量测量,包括晶圆厚度、区域厚度、总表面积、嵴柱安装间隙和模模映射。它还具有强大的自动缺陷识别和分析功能,因此晶圆检查可以快速高效地完成。6420 Surfscan是一款高性能、高精度的机器,具有多种成像模式,包括亮场和暗场成像。它还配备了集成图像分析工具(IAS),在晶圆制造过程中提供自动化测试和分析。IAS软件可快速解决问题,减少测试和分析时间。该资产与其他计量系统完全集成,便于传输和共享数据。PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先进可靠的型号,旨在满足晶圆计量和测试生产线的苛刻要求。它提供了无与伦比的精度、精度、吞吐量和存储容量,使其成为任何半导体制造过程中必不可少的工具。
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