二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9133277 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款高度先进、多应用的晶圆测试和计量设备。其先进的软件环境和全面的硬件平台使其成为各行业生产环境的绝佳选择。它旨在提高晶圆测试和计量活动的可靠性和可预测性，同时降低成本和揭示重要见解。KLA 6420 Surfscan使用独特的光学CD计量（OCM）扫描系统来精确测量线宽和CD（临界维度）值。它配备了自动化的、非侵入性的采样级"熄灯"功能,使设备能够准确地为客户执行完整的晶圆表面检查和微观结构的详细分析。该机具有2轴倾斜补偿能力，对于探测和绘制高度平面结构至关重要。TENCOR 6420 Surfscan还配备了前沿软件功能，提升了其硬件所实现的性能。它能够捕捉和分析各种类型的高速光谱，包括低分辨率和全分辨率（1GHz/6GHz），还能进行全方位的缺陷检测，如TTV、测量和过程控制评估。它的软件建立在用户友好的界面上，目的是减少用户错误，提高整体效率。PROMETRIX 6420 Surfscan还包括软件定义的清洁室功能,通过一系列基于铬的可上载记录为客户提供全面的操作可追踪性。经过适当的校准，能够进行低至2nm的高精度测量。它具备先进的粒子成像和计数（PIC）功能,还可以在干法和湿法过程中从晶片和标线获取数据。总体而言,6420 Surfscan代表了晶圆测试和计量系统的最新进展。从先进的光学CD计量工具到全面的软件功能,此资产提供了准确的测试、丰富的功能以及可靠、经济高效的制造。