二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9205197 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，使用"蓝色扫描"成像和映射技术获取有关晶圆特征和晶圆缺陷的数据。该系统可以成功地测量晶片的两个主要目的：第一，用于测量晶片的地形，以确定晶片是否在规格之内；其次，它用于检测晶圆表面或晶圆上的产品设备中的潜在缺陷。KLA 6420 Surfscan提供卓越的地形成像和测量能力。它使用正向散射和反向散射成像技术来产生晶圆表面的2D Blue Scan图像。这些图像还包含有关晶片特征的地形信息,如高度、宽度、间距和半径,低至0.05 µm。对这些图像进行评估,并将其与设定的标准进行比较,以确保晶片符合其期望的规格。TENCOR 6420 Surfscan还包括一种名为Automated SmartAnalyzer的先进的基于光学的检测技术，它可以根据缺陷的光学特性检测缺陷，如2D Blue Scan图像所示。这项技术使用复杂的算法组合来识别和分类不同类型的缺陷，如颗粒污染、过度蚀刻和划痕。Automated SmartAnalyzer还能够提供有关缺陷类型（如大小、形状和深度）的更详细信息。该单元还包括一个名为ProSystem的缺陷分析软件套件，可用于分析PROMETRIX 6420 Surfscan收集的缺陷数据。ProSystem使用户能够生成有关缺陷大小、分布、位置和类型的详细报告。该软件套件包括内置的统计流程,可帮助确定数据集随时间推移的趋势。总体而言,6420 Surfscan是一台功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量机器,提供无与伦比的成像和测量功能。它结合了Blue Scan成像、Automated SmartAnalyzer技术和ProSystem分析软件，使其成为晶圆表面成像、缺陷检测和缺陷分析的有效工具。