二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9207287 待售

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ID: 9207287
优质的: 1996
Inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于半导体晶圆的电学和光学特性的精确分析。该系统利用先进的光束和电子束技术扫描浅微米和深亚微米特征,以检测每个晶片的缺陷、污染物和电性能。KLA 6420 Surfscan通过拍摄晶圆表面的高分辨率图片来工作,然后将其转换成电子地图。然后使用该电图测量各种参数,如电势、表面特征和薄膜厚度。此外,TENCOR 6420 Surfscan能够精确测量沟槽和通风的深度,以及晶圆表面的粗糙度。这允许检测可能肉眼看不到的缺陷和污染物。6420 Surfscan还具有高级功能,例如比较工具,它允许比较晶片和CAT (Comparative Analysis Tool)之间的属性,以便于比较各种数据点。PROMETRIX 6420 Surfscan利用先进的高分辨率扫描技术,包括电子束和激光扫描,精确测量晶圆的地形。这使KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan能够检测嵌入晶圆表面和结构的缺陷和污染物。通过使用KLA GeoCorrect TM技术,KLA 6420 Surfscan可以自动校正任何表面粗糙度和其他非几何因素。TENCOR 6420 Surfscan是一个功能强大的设备,它包含多种功能,旨在帮助加快生产速度和改进质量控制。该机器设计为易于使用,具有直观的菜单和按钮,可以快速浏览6420 Surfscan获取的数据。PROMETRIX 6420 Surfscan利用先进的扫描技术,能够以前所未有的精确度分析和精确测量晶圆特性。
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