二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9209993 待售
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已售出
ID: 9209993
晶圆大小: 4"
优质的: 1995
Unpatterned surface inspection system, 4"
Set up for 4" x 4" substrate
Non patterned wafer film surface analyzer
Sub micron particles:
Polysilicon
Tungsten
Epitaxial
Polished silicon
Round or rectangular subtrates: 4", 5", 6", 8"
Configured for 4 x 4 square wafers
Setup with CD rom
Automatic wafer handler
Capture rate on bare silicon: 0.1 um @95% Sensitivity
Spatial resolution: 50 um
Contamination less than 0.005 particles / cm² greater than 0.15 um
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
2D Signal integration
Non contaminating robotic handler
X-Y Coordinates
Random access for sender / Receiver unit
SECS GEM Capable
Illumination source: 30 mW Argon-ion laser
Wavelength: 488 nm
Operating system: Microsoft Windows 98
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种综合性晶圆测试和计量设备,旨在为需要有关其半导体产品详细信息的工程师和技术人员提供高质量的数据。此工具能够对各种晶圆类型、尺寸和形状执行表面、缺陷、覆盖、粗糙度、粘附或污染分析测量。用于检测晶片表面质量和缺陷，分析微电子电路和互连的性能。KLA 6420 Surfscan包括多个检测系统和一个分析功能集，旨在以0.1微米分辨率测量微米级表面特性。它具有可变的视场模式，允许一次进行全晶圆扫描，可调放大倍数设置高达10倍，用于微观分析。它能够测量包括粒子、针孔和碎片在内的三种不同类型的缺陷，可以同时获得图像和数据点。自动测量和检测系统可以给出晶圆表面的三维分析和整体缺陷图，以便用户识别和解决问题区域。TENCOR 6420 Surfscan利用先进的算法，利用超高速静电测量单元，允许无与伦比的精度和可重复性。此外,它还可用于检测边缘事件、最小化错误警报、检测隐藏的缺陷以及对各种进程窗口进行测量。它还可以检测和测量边缘区域以外的晶圆缺陷,其他系统通常会忽略这些缺陷。该仪器的用户友好界面还允许快速设置和详细分析。此外,它还配备了自动校准功能,有助于减少用户培训、时间和成本。此外，它是在一个由防故障措施组成的级联机器中设计的，以尽量减少用户干预并提高数据准确性。总体而言,6420 Surfscan是当今最准确、用途最广泛的晶圆测试和计量工具之一。它旨在提供最可靠、最精确的缺陷检测,其用户友好的设计使其易于使用和维护。这种多合一晶圆测量工具是任何半导体产品测试和分析需求的理想选择。
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