二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备。该系统可用于临界维度（CD）缺陷检测、纳米成像、迭加对准、晶圆级CD计量、均匀性测量等各种计量应用。该单位采用先进的光学、电气和机械技术，以满足高精度测量和生产监测任务的需求。机器的关键部件包括自动晶圆处理工具、多站自旋卡盘级、大面积探测器、激光扫描仪、扫描电子显微镜（SEM）和对准望远镜成像资产。自动晶圆处理模型允许在不同设备组件之间进行高效的样品传输和加载。多站自旋卡盘级用于以高达4000 rpm的速度旋转样品。大面积探测器收集系统数据，包括图像数据和其他工艺质量参数。该探测器采用独特的电荷耦合器件（CCD）和光电倍增器技术，提供高速信号捕获和传输。16位激光扫描仪利用激光束对表面特征、临界特征尺寸和缺陷进行精确分析。SEM用于生成亚微米分辨率图像，用于缺陷检测和测量。利用低噪声成像链来增强图像采集过程。这样可以对较小的特征进行高精度的尺寸和形状测量。对齐的望远镜成像单元用于测量晶圆不同层间的亚微米覆盖对齐精度。这台机器结合了高分辨率摄像机和闭环XY运动舞台以及强大的图像分析软件，提供了最佳的迭加精度值。该工具还包括具有多种输入选项的监控资产。它允许用户查看实时示例图像和其他与流程相关的信息,放大倍数可达1000倍。数据使用板载硬盘传输和存储,可以备份或下载到任何远程设备以进行进一步分析或存档。KLA 6420 Surfscan型号是晶圆测试和计量的一种高度先进的设备。它以高速提供可靠、准确的结果,并具有出色的用户体验。该系统具有自动化晶片处理技术、高质量成像系统和强大的软件，为晶片级CD计量、纳米光谱、迭加对准和均匀性测量应用提供准确的结果。