二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9238556 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
已售出
ID: 9238556
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款综合性晶圆测试和计量设备,旨在满足先进晶圆检测和计量要求的挑战性需求。该系统为关键的过程控制应用程序提供了一个全面、集成且可靠的平台。Surfscan 6420采用先进的计量技术获取全面的晶圆信息,提供全均匀性分析、迭加、线宽、薄膜厚度映射和轮廓测量。它能够成像侵略性角度,从0到85度,以访问微妙的深度细节相对容易。此外,该单元还包括一个高端扫描头和一个高分辨率扫描仪,该扫描头能够提供两个具有扩展焦点深度的平行视场。这台多通道机器可以在一小时内测量150个晶圆样品,分辨率为0.1 μ m。Surfscan 6420还包括高级自动化功能和用于高精度测量的真正高斯滤波。它利用智能边缘检测算法和各种先进的自动对焦技术来精确测量结果。其他功能包括用于精确表面地形测量的自动光计量工具、自动光介电常数(PDC)测量模块和自动表面形状分析。该资产具有高度灵活和面向未来的特点,具有可升级的软件、硬件和附件。此外,该模型还可以与第三方应用程序接口,并通过以太网执行远程操作。这有助于远程优化、支持和维护。总体而言,KLA 6420 Surfscan是高级晶圆测试和计量要求的理想选择。它可靠、精确,并提供全面、自动化的分析功能。它与各种第三方应用程序兼容,面向未来,并具有网络能力,可用于扩展远程操作。
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