二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9248616 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
已售出
ID: 9248616
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备。它设计用于测量和分析半导体材料的各种特性,直至6英寸晶圆。KLA 6420 Surfscan配备了高分辨率光学显微镜和空间滤镜。显微镜经过专门设计,能够对半导体特征进行三维分析,包括缺陷检测和测量。TENCOR 6420 Surfscan还配备了高精度的光学编码器,可以精确测量表面地形。利用附加的激光衍射附件,系统可以测量晶片的各个方面,如层厚度、轮廓角度和晶粒尺寸分布。此外,PROMETRIX 6420 Surfscan可以连接到手动和自动示例处理系统。它可以用来分析任何形状和大小的晶片,如圆、矩形和正方形。另外,该单元可以生成各种图形形式的报告,以及晶圆表面的三维图像。6420 Surfscan适用于需要分析晶圆特性的多种应用。用于检测新晶片,评估蚀刻工艺质量。它也用于测量铜金属层的厚度,以识别潜在的缺陷。此外,该机器还可用于分析晶片表面的晶体特性,如平面度和粗糙度。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是晶圆检验和表征的可靠高效工具。它设计为用户友好,与各种操作系统兼容,如Windows、Mac OS和Linux。该资产非常适合需要可靠和准确测试结果的实验室、学术界和行业。
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