二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254029 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是为半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。它是专门为检查和分析先进光刻工艺的缺陷，以及测量和量化晶片表面参数而设计的。Surfscan 6420由全自动晶圆处理系统、高分辨率成像单元和允许高分辨率成像的专利光束移位技术组成。该机器能够进行45毫米以上的非接触式光学检查，还可以测量和量化300毫米以下任何尺寸晶片上的表面参数。该工具还具有高级软件,可以可靠地发现各种大小的缺陷,以及提供可重复和可靠数据的自动测量例程。资产使用高分辨率成像来检测缺陷，如颗粒、划痕和印刷异常，否则使用传统的测试方法很难找到。然后通过将图像与允许的模板和公差进行比较的自动图像处理模型对图像进行分析。该设备还包括一个软件开发工具包，供用户创建自定义测量和分析应用程序。除了其缺陷检测功能外,Surfscan 6420还具有阵列迭加功能和优化的轮廓工具。这样可以精确测量各种参数,包括线缘粗糙度、步长、宽度和侧壁角。系统的自动化软件检测算法可以在整个晶圆上或在单个模具上测量这些参数,然后以易于读取的图形量化结果。总体而言，KLA 6420 Surfscan是一个强大而先进的晶圆测试和计量单元。其设计符合最严格的行业标准，在检测和测量半导体缺陷方面提供精确度和准确性。Surfscan 6420具有全自动流程、易于使用的软件和高分辨率成像功能,是半导体制造商的宝贵工具。