二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan设备是一种先进的晶圆测试和计量系统，旨在提供全面的晶圆表面表征。具体来说,6420提供了广泛的功率特征分析（PSA）、薄膜和地形测量,包括高度校准、电容、电导率、临界尺寸（CD）、粗糙度、均匀性、散射和线宽变化,遍及各种样本量和复杂性。6420是一个集成单元，旨在允许最快、最精确的晶圆表面测试。它将计量稳定（MSC）技术与业界领先的ProScan相结合,能够准确、快速地进行原子级轮廓测量。使用专利算法，6420提供精确的表面表征能力，具有0.2nm的空间分辨率和1-2nm的垂直分辨率。该机器还能够自动检测关键特性,如护垫、沟槽、通风孔和闸门,并提供边缘检测功能。6420是一种集成工具，具有一系列具有不同功能集和测量方法的传感器。其中包括倾斜、非均匀和弯曲模式、多级测量或单波长和多波长PSA测量的解决方桉。它还提供各种校准模式，如自校准、浸水、校准线和手动垫片扫描。6420提供了业界领先的测量重复性,其分数视图不确定性小于3nm。KLA 6420 Surfscan是一种直观且易于使用的资产,具有用户友好的界面和图形分析工具。它还具有高度可配置的可自定义设置,使用户能够根据自己的确切需求定制模型。6420具有一系列令人印象深刻的高级功能,为晶圆测试提供了强大的多功能性。它是任何需要详细晶片表面表征的生产线或实验室的理想设备。