二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9285832 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量（WTM）设备,提供全面的晶圆检测,并具有令人印象深刻的整体工艺吞吐量。该系统配备了支持MEMS和先进CMOS技术的KLA广泛的可变晶圆检测选项系列。它包括优化的设计,可解决重复性、统一性和性能等关键问题。6420在自动光学检查和/或模具级表面测量的任意组合中支持多达六个探测器。它配备了支持线性级的多位置XY级运动单元和多种其他光学检测技术。事实上，6420的光学级还设有点对点对准软件，以确保传感器的精确对准。这种尖端的对齐软件提供了高精度、减少现场失真和改进的可重复性。KLA 6420 Surfscan还有一个集成的基板处理机，用于提高基板保真度和延长刀具寿命。它配备了独一无二的Auto-WideField资产，使用户能够进一步减少舞台摆动，提高基板定心精度。这样可以确保在整个过程中进行更准确的测量。Auto-WideField模型还辅以TENCOR激光干涉迭加设备（LOMS），显着提升了迭加性能。此外,TENCOR 6420 Surfscan还具备全面的数据采集、分析、可视化和报告功能。这个功能强大的软件包允许用户快速、轻松地分析和查看数据，以及运行流程优化脚本。6420还支持全自动系统控制，使其能够无缝集成到现有的晶圆厂中。PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先进的WTM设备,提供令人印象深刻的功能和尖端技术。其全面的能力和可靠性使其成为各种晶圆检验和计量应用的理想机器。6420大大提升了生产效率和吞吐量，同时也提供了出色的投资回报。