二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287498 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供高速、无损测量，用于高精度晶圆检查和校正过程控制。KLA 6420 Surfscan系统是以高吞吐量率提供高精度晶片评估的业界领先者。该单元设有3轴隔振台、自动晶片装载机、5微米成像机和大型高分辨率摄像头。该成像工具能够以每像素1微米的速度捕捉图像，从而能够在尽可能最好的水平上检测任何表面缺陷。5微米宽带激光器可以在高达150毫米的范围内评估晶片。Surfscan 6420还具有集成的高级过程控制资产,使其能够自动调整测试参数和校准测量结果。此外，该模型还具有可靠的自动晶片映射功能，可以快速检查整个晶片或较大的零件。该设备非常方便用户使用，具有先进的软件，提供各种格式的数据输出。它为用户提供各种图形显示,包括测量点和误报/误报数量,所有这些都可以在报告文件中输出。此外,Surfscan 6420还具有多种软件包,可支持一系列测试应用程序,如边缘钝化、线宽确定、孔或孔形状以及层测试。Surfscan 6420还提供了许多流程工具,如模板匹配、匹配匹配和扫描线拟合。这些流程工具提供了对模式特征或流程相关协议的快速控制。此外，该系统与现有计量系统无缝集成，提供数据互操作性和兼容性。TENCOR 6420 Surfscan是晶圆测试和计量行业中最可靠、功能最强大的系统之一。它能够提供高精度的可靠、快速的测试结果。用户友好的软件和强大的过程控制系统使用户确信他们的测试结果既可靠又可重复。