二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304 待售

ID: 2304
Patterned wafer inspection system Repeatability: < 3% Mean count: 500 Particles Diameter latex spheres: 0.5um Resolution: 0.4um Diameter latex spheres Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm Throughput: (22) Wafers / Hour (150 mm) (19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是一款前沿晶片测试和计量设备,旨在实现半导体晶片的高通量、无损测试和计量。该系统将高级测试和检查功能与现场验证的算法和变量集成在一起,为用户提供最准确的晶圆测试和计量结果。KLA 7200 Surfscan的高级设计能够在使用传统工艺的时间和成本的一小部分上实现无损晶片测试和计量。该装置配备了先进的光学显微镜机器,用于进行宏观测试,以及微观分析,用于粒子测量、蚀刻深度测量、地形映射和线宽表征。TENCOR 7200 Surfscan还配备了低强度晶圆探针,使用户能够在制造后不久检查IC和其他组件。PROMETRIX 7200 Surfscan具有高度自动化的特点,可简化晶圆测试和计量过程。这些功能包括全自动晶片处理工具、用于自动粒子测量的高分辨率CCD摄像头以及用于缺陷分析和现场检查的高速数据采集资产。该型号还提供独特的功能,例如能够将自动光学检查与其他非常高的放大倍率(VHM)集成在一起,以及屏障缺陷检查(BDI)功能。在性能方面,7200 Surfscan在晶圆测试和检查能力方面处于领先地位。其高精度算法产生可靠的测试结果,提高了准确性、重复性和统计可靠性。其先进的光学设备以高分辨率产生精确的图像。而其低力晶片探针减轻了敏感元件受损的风险,保持了测试样品的完整性。简而言之,KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是一种晶圆测试和计量学系统,与传统方法相比,它能够在很小的时间和成本内实现精确的结果。其先进的技术和强大的功能使其成为完整可靠的半导体器件测试和计量的理想解决方桉。
还没有评论