二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9255577 待售

ID: 9255577
优质的: 1990
Patterned wafer inspection system 1990 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是为晶圆级测试和测量而设计的表面分析和计量设备。它是一种通用的晶圆映射工具,能够通过晶圆厚度、缺陷位置和表面粗糙度等多种应用提供可靠、准确的测量。它是用来使用光学和非接触原子力显微镜(NCAFM)来提供0.1 nm到3+mm范围内的4X或更高分辨率的测量。该系统在具有高速图像采集单元的Windows PC上运行,用于捕获图像数据,以便在获取数据时实时处理测量结果。Surfscan 7200使用光学显微镜(OM)和非接触原子力显微镜(NCAFM)的组合,提供晶圆表面形态的详细数据。NCAFM使用低温纳米分辨率力显微镜来测量2D和3D中表面的高度、粗糙度和形状。NCAFM机器包括一个Z-Scanner,允许对整个表面进行自动高速扫描,从而得到准确的地形图。OM工具使用高分辨率彩色相机和LED背光来查看和测量晶圆的表面细节。正是这两个系统之间的接口使Surfscan 7200能够详细测量晶圆的表面。Surfscan 7200具有一个X/Y级,具有两个独立的测量轴,直径范围为6 mm,最大分辨率为0.1nm。XY级可以在光学和NCFFM测量资产之间移动晶片,以进行详细的3D扫描。该模型还配备了硬件和软件组件,用于定制自动化、测量、成像和数据分析。Surfscan 7200包含其他硬件和软件包,如AutoFocus、Hot/Cold Decking和DataLink软件,用于连接到在线计量系统。Surfscan 7200具有易于使用的软件,通过为晶圆级测量提供预先配置和验证的参数(如优化的扫描速度和大小)来缩短用户编程时间。它还使用户能够自定义特定应用程序的设置。该软件能够生成详细的数据分析,包括表面地形、缺陷检查、特征分析等等。此外,该软件符合各种国际标准以及SEMI-standards。Surfscan 7200是为晶圆级测试和测量而设计的行业标准计量设备。它采用先进技术构建,以快速高效的方式提供高度准确和可靠的测量。集成的硬件和软件组件使其成为晶圆级测试和计量应用中使用的通用平台。
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