二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #138855 待售

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ID: 138855
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Patterned wafer inspection system, 8" Model no: 269913 Chuck: Up to 8" Robotic handler 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备,旨在为用户提供最高级别的性能。KLA 7600 Surfscan能够自动进行晶圆测试、缺陷检测和计量。其特点包括自动晶圆测试、二次电子成像、X射线映射、自动缺陷分类以及自动粒度和形状分析。TENCOR 7600 Surfscan拥有一个自动化系统,它利用机器人处理和基于视觉的检查来识别、测量和评估硅片上的表面缺陷。这有助于节省生产过程中的运营成本和时间,并减少员工的劳力。此外,该单位还提供广泛的测试能力,从监测结构缺陷和变化到更复杂的功能,如过程监测和串联颗粒分析。为了进行缺陷检测,PROMETRIX 7600 Surfscan采用了二次电子成像(SEI)技术,它提供了一个高分辨率图像,该图像被捕获并显示给用户。此外,该机器通过其X射线映射模块提供X射线映射和变异性评估。这样可以确保准确显示捕获的图像。该工具还采用自动缺陷分类(ADC),用于识别和分类晶圆上的缺陷。此外,7600 Surfscan允许全面分析颗粒大小和形状,允许用户测量和分析晶圆上的颗粒。KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan还具有一系列附加功能,如环境控制室、多达七种不同的激光模式、完全集成的校准夹具以及用户友好的图形用户界面(GUI)。再者,资产可以与半导体生产模型的其他部分集成,如支持晶圆制造的KLA 7000 Steps。总体而言,KLA 7600 Surfscan是一款功能强大且可靠的晶圆测试和计量设备。它能够准确检测、测量和评估硅片表面缺陷,在生产过程中节省时间和劳力。此外,它还能够进行X射线映射和先进的粒径和形状分析。所有这些功能使TENCOR 7600 Surfscan成为监测半导体生产过程的理想解决方桉。
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