二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9065953 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是晶圆测试和计量的工具。它使用户能够执行高级缺陷检测、映射和审查,以支持对光刻工艺的鉴定和优化,以及工程师对下一代光刻技术的缺陷特征分析。它有能力进行广泛的检查，包括光学临界尺寸（OCD）、晶圆表面地形（3D/2D）测量、缺陷审查和光学计量。KLA 7600 Surfscan具有自动对焦功能,允许用户在具有高吞吐量的45 nm和90 nm节点晶片上实现卓越的强迫症扫描质量。它还有一个自动检查系统，使用获得专利的智能模式算法从2 nm间距的晶片提供高分辨率缺陷捕获。动态聚焦传感器用于提高扫描过程中的聚焦稳定性,该传感器在扫描过程中不断监视和调整焦点。TENCOR 7600 Surfscan具有Litescan工具,用于检测和成像不同形状和大小的缺陷。该工具使用红外激光器照亮晶片并捕获没有污染或损坏晶片的图像。它还配备了MicroMapper功能，可以检测超细缺陷。来自每个晶片的缺陷数据存储在数据库中,以便可以使用3D映射特征将其与其他晶片进行比较。PROMETRIX 7600 Surfscan结合了多种技术,使其成为最强大的晶圆测试和计量系统之一。它可以提供详细的缺陷分析、复杂的像素级扫描、统计数据分析和缺陷审查。此功能组合确保用户能够准确有效地表征可能存在的缺陷类型并改进流程改进。