二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9073508 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan系统是一种晶圆测试和计量装置，设计用于探测和表征小型电子结构的表面特征。它为监测制造过程提供了深入的数据，这对于现代电子设备的高效可靠生产至关重要。KLA 7600 Surfscan包括三个主要组件；Analyzer Station, the Optical Metrology Station, and the Wafer Chuck Stage.Analyzer Station由两个测量头的表面组成-负责双通道电气测量的主动头和用于测量薄膜厚度而不是电气特性的被动头。光学计量站用于测量表面地形，允许评估和优化高分辨率的模式。晶片卡盘级是一个附加组件,可确保晶片的精确放置和对齐,以及盖子与基板的接触。TENCOR 7600 Surfscan还具有许多其他组件。这包括高频片状电阻模块、TTV分析和自动化工具，以及光学粒子检查和二次离子质谱。高频薄板电阻测量薄膜层的薄板电阻，可用于优化电气特性。同时，TTV分析模块提供了多个晶片表面地形的详细视图，开发了一种更快、更高效的晶片与晶片比较工艺。自动化工具允许加载多个分析和表征模式，而光学粒子检查提供晶圆的粒数。最后，二次离子质谱法通过质量分离原子和分子，以便进行简单有效的污染分析。PROMETRIX 7600 Surfscan系统为各种晶圆测试和计量需求提供了全面、高质量的解决方桉。随着设备精度和自动化能力的提高，它已被证明是检测现代电子设备缺陷的理想解决方桉。