二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9122626 待售

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ID: 9122626
晶圆大小: 2"-8"
Particle inspection system, 2"-8" Model no: 249505 Particle sensitivity: 0.15 um 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款领先的晶圆测试和计量设备。Surfscan 7600是一种全自动工具,旨在为晶圆制造以及高级研发应用提供世界一流的性能和全面的过程控制。7600具有强大而坚固的光学设计,可实现卓越的晶圆检测、精确的晶圆地形测量、高吞吐量和完整的数据完整性。该系统提供基于步骤的计量配置,允许在流程开发中扩展控制和灵活性。其用途广泛的光学平台提供各种光学,允许在缺陷、尺寸检查、临界尺寸图桉粗糙等不同领域进行有效分析。此外,Surfscan 7600还包括一个内置的数据处理单元,可准确地分离、分类并提供检测到的缺陷的即时反馈。该机还具有多波长光学成像、全场表征、自适应增益调节、图像快速相关、缺陷检测能力增强等多种综合处理特点。再者,7600可以与现有的製程设备串联,允许进一步的製程控制和定制。从该工具获得的数据以直观易懂的格式呈现。Surfscan 7600能够进行全面的晶圆分析,使其成为先进研发的宝贵工具。其测量能力范围允许对光学过程进行精确控制。该资产还被认为是可靠和高度坚固的,其能力使其成为行业中众多晶圆制造业务中必不可少的。
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