二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9137281 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一种高性能晶圆测试和计量设备，用于测量集成电路（IC）的电气、光学和机械特性。该系统为各种晶片基板提供了全面和可重复的检验和测量能力，并为不同类型的IC提供了多种测量选项，包括电阻率、电容、排便率、均匀度、线宽、3D高度等。KLA 7600 Surfscan将高分辨率横向扫描显微镜（LSMs）与最先进的CCD相机和计算机控制的级系统集成在一起，提供纳米级晶片的快速检查和测量。该单元侧轴精度为1纳米，垂轴精度为1纳米，为测量结果提供了高重复性和精度。此外，TENCOR 7600 Surfscan提供了三维成像、复杂迭加设计、高分辨率信号处理等先进成像能力。为确保可靠的性能,7600 Surfscan设计了多种高科技组件,如空气驱动晶圆定位机和多级动态级工具。空气驱动的晶片定位资产允许将晶片精确地手动和自动放置到1微米以内，从而实现更高的精度和吞吐量。多级动态阶段模型使三维扫描能够精确聚焦于感兴趣的领域,并提供高焦度深度和高扫描速度以最大限度地提高效率。PROMETRIX 7600 Surfscan还配备了自动缺陷审查设备，使工程师能够快速查看和识别扫描晶片中的潜在缺陷。该系统能够在不到半秒的时间内捕获全套图像,并根据大小和亮度提供缺陷的图形表示,使工程师能够快速调查和诊断潜在的问题区域。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan还提供了多种控制选项,包括一个用户友好界面,允许工程师自定义设备以满足特定的程序要求,并将其与其他硬件和软件系统集成。此外,该机器与业界领先的计量平台兼容,确保结果与行业标准兼容。总体而言,KLA 7600 Surfscan工具是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量工具,使工程师能够快速准确地检测和诊断IC缺陷,从而确保尽可能高的质量标准。此资产提供了高级映像功能,使工程师能够以高效和经济高效的方式查明潜在问题。